华泰证券研报指出，MEMS基于微细加工技术和半导体工艺，将微传感器、微执行器和电子线路、微能源相结合，可实现微观尺度的传感和控制。其常用材料为硅基材料，在特殊应用场景下会采用聚合物基材料。MEMS产品的优点包括微型高效、功能集成化、可批量生产等，缺点是新产品研发流程长、封装难度高。目前MEMS已广泛应用于消费电子、汽车工业、生物医疗等领域，在人形机器人领域中，MEMS麦克风、IMU和阵列式触觉传感器已获得应用。我们认为，人形机器人对微型化、集成化和轻量化要求较高，与MEMS工艺的特点相契合，未来MEMS在人形机器人中的应用将进一步拓宽。